拋光機操作原理的關鍵是要設法得到大的拋光速率，以便盡快除去磨光時產生的損傷層。同時也要使拋光損傷層不會影響最終觀察到的組織，即不會造成假組織。前者要求以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層，使用較粗的磨料，但拋光損傷層也較深；后者要求使用最細的材料，但拋光速率低，使拋光損傷層較淺。